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高精度定量吐出泵系列
高精度定量吐出泵系列 以半导体制造工序为...了解更多
高精度定量吐出泵系列
高精度定量吐出泵系列 以半导体制造工序为起点，广泛应用于半导体，液晶，锂电池，试剂等领域，用户可根据用途及使用的工件，从驱动方式和泵的类型中选择合适的泵。 定量吐出泵的特点： 接液部由氟树脂构成，适用于各种药液。 接液部采用无滑动部结构，几乎不产生粒子， 无需日常维护，实现保持高重复精度额定量吐出。 定量吐出泵应用案例： 要求高重复精度和直线性的工艺，如晶片涂覆；药液填充/称重/混合 要求涂覆开始至结束的膜厚均匀性的工艺。如狭缝涂布，在磁盘上涂覆。
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